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Fall丨Energieverbrauch um 60% senken, wie Zhaohua die VOCs-Lösungen für Halbleiterunternehmen effizient realisiert.

Halbleiterindustrie VOCs Die Abgase stammen hauptsächlich aus den Prozessen der Lithografie, Entwicklung, Ätzen und Diffusion. In diesen Prozessen enthalten die verwendeten Reinigungsmittel, Entwickler, Fotolacke und Ätzmittel eine große Menge organischer Bestandteile. Ein großes Unternehmen zur Herstellung integrierter Schaltungen in Shanghai benötigt zur Verbesserung der Produktionsumgebung eine effektive Behandlung der Abgase. In Bezug auf die Merkmale der Abgase dieses Projekts, Megaunity hat ein System für Unternehmen entworfen und implementiert,VOCsnach der Systembehandlung liegt die Konzentration der Abgase weit unter den nationalen und lokalen Standards, während die Betriebskosten des Unternehmens erheblich gesenkt wurden.

Quellen und Merkmale der Abgase

Die Abgase dieses Projekts stammen hauptsächlich aus den organischen Abgasen, die während der Reinigung, Beschichtung, Entwicklung und chemischen Entfernung von Klebstoffen im Herstellungsprozess integrierter Schaltungen entstehen.

(1) Die organischen Stoffe in den Abgasen haben eine niedrige Konzentration und ein hohes Volumen. Das Volumen der Abgase85000Nm³/h, die Konzentration150mg/m³.

(2) Die organischen Siliziumoxidstoffe in den Abgasen können Siliziumdioxid erzeugen, was zu Verstopfungen führen kann.RTOund Zeolith-Rotoren.

(3) Die Abgase enthalten Fotolack, was bei langfristigem Betrieb zu Verstopfungen in nachfolgenden Rohren, Geräten und Schornsteinen führen kann.

Megaunity-Lösungen

In Anbetracht der Merkmale der Abgase in der Werkstatt des Kunden hat Megaunity ein speziell entworfenes Vorbehandlungssystem verwendet.+Zeolith-Rotorsystem+RTO+System zur Nutzung von Abwärme, die Emissionskonzentration nach der Behandlung liegt ganzjährig unter5mg/m³, die Emissionsindikatoren sind weit besser als die neuesten nationalen und lokalen Emissionsstandards.

(1) Es wurdeKPR+RTOProzess verwendet, der im Vergleich zu den anderen Anlagen des KundenTODie Ofenbehandlungsprozesse können jährlich fast eine Million Kubikmeter Erdgas einsparen.

(2) Das Projekt hat ein Notfall-Emissions-Bypass-System eingerichtet, das auch während der Systemwartung die Abluft der Werkstatt sicherstellt und Verluste in der Halbleiterindustrie vermeidet.

(3) Ein Rohrbrenner ersetzt den Wärmetauscher, um Verstopfungen im Wärmetauschsystem und im Zeolith-Rotor zu vermeiden.

(4) Megaunity Private Cloud-Plattform-Service, der eine stabile Überwachung in Echtzeit gewährleistet, die Abgase kontinuierlich die Emissionsstandards einhalten.

Projektmerkmale

Einige Bestandteile der Abgase in der Halbleiterindustrie können leicht zu Verstopfungen in Rohren und Geräten führen. Bei der AuswahlVOCsvon Lösungen muss auf die Auswahl von Vorbehandlungs- und Wärmerückgewinnungslösungen geachtet werden; unangemessene Maßnahmen können während des Betriebs irreversible Auswirkungen und Schäden an den Geräten verursachen. Megaunity kann basierend auf den tatsächlichen Betriebsbedingungen maßgeschneiderte Systemdesigns und -optimierungen für Kunden anbieten, um Unternehmen bei der Lösung von Abgasbehandlungsproblemen zu helfen, kontinuierlich Werte für Kunden zu schaffen und die Erreichung der Kohlenstoffneutralitätsziele zu unterstützen.

Luftsystemdienstleister für industrielle Produktionsumgebungen

Tel：400-860-5288

E-mail： marketing@megaunity.com

Adresse:
Nr.300 Dongxin Straße, Xukou Gemeinde, Wuzhong Bezirk, Suzhou
Nr. 8, Shuzi 3 Straße, Shuang D Gang, Jin Pu Neuer Bezirk, Dalian, Provinz Liaoning

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